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    微纳电子、创新应用----真空技术应用论坛举行

    微纳电子、创新应用----真空技术应用论坛举行

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    • 分类:地方学会
    • 作者:上海市真空学会
    • 来源:上海市真空学会
    • 发布时间:2022-12-13
    • 访问量:

           

     

            2022年12月11日由上海市真空学会主办、真空半导体专业委员会和复旦科技园集成电路融创中心(复创芯)承办的真空技术在先进微纳电子行业中的应用论坛,在复旦大学科技园以线上线下方式同时举行。本次论坛包含 2022 中国工博会科技论坛分论坛暨第四届上海真空科技进步奖颁奖仪式。

            论坛由上海市真空学会秘书长莫晓亮主持,学会理事长孙卓教授致辞,副理事长韩建华宣读获得第四届上海真空科技进步奖获奖项目表彰决定。

            第四届上海真空科技进步奖授奖项目共9项(45人),其中;一等奖3项,二等奖3项,三等奖3项。第四届上海真空科技进步奖展示了近两年上海真空科技领域所取得的最新科研成果。获奖成果内容涉及光伏用干式螺杆真空泵、半导体用干式真空泵、微油螺杆真空泵、压缩空气能效智能化管控平台、低温等离子体及催化剂协同低压装备系统应用研究、红外热成像探测器芯片真空封装用电激活微型吸气剂的研发、质子交换膜燃料电池金属极板涂层、耐事故核燃料包壳管表面防护涂层制备系统的研究和超高真空全金属屏蔽插板阀等方面,反映了真空科技创新项目在重大工程中的应用,也彰显了上海真空发展的引领作用。孙卓、韩建华、莫晓亮分别为获奖单位颁奖。

            同时本届论坛结合 2022年中国工博会科技分论坛,为增进真空科技工作者之间的相互了解和交流,促进科技进步、产学研合作,以“微纳电子,创新应用”为主题,结合真空相关产业技术,研讨真空技术在先进微纳电子行业中的应用,推进微纳电子技术与相关领域的融合发展,推动经济社会和科技发展,服务上海具有全球影响力的科技创新中心建设。

     

            论坛邀请亚太材料科学院院士、华东师范大学孙卓教授

     

            复旦大学卢红亮教授

     

            苏州八匹马超导科技有限公司汤洪明总经理

     

    爱发科真空技术(苏州)有限公司何晓峰部长等作真空应用方面的专题报告

     

            孙卓教授在报告中详细介绍了纳光电研究中心研发领域和背景,水资源与处理技术以及微纳光电净化技术,卢红亮教授在报告中介绍了原子层沉积在先进半导体技术中的应用,汤洪明和何晓峰在报告中分别介绍了基于核心部件技术自主可控的低温真空泵的产业化和应用与微纳米加工-深刻蚀/微透镜刻蚀工艺技术。

     

            本次论坛针对真空技术在微纳电子领域的创新应用,通过深入的交流讨论,将最新的研发成果与产业发展和需求有机结合,以产学研紧密结合的方式进行,旨在为真空技术领域的科研和产业同行提供一个友好的交流环境,促进会员单位的广泛合作。会议期间还参观了复旦科技园集成电路融创中心(复创芯)。

     

            本届论坛线上线下结合取得圆满成功,与会代表收获颇丰。论坛得到了上海市科学技术协会、复旦大学微电子学院、华师大纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心、爱发科真空技术(苏州)有限公司、上海集加实业有限公司和合肥昱驰真空技术有限公司等单位的大力支持,在此深表谢意。会议对真空半导体专业委员会和复旦科技园集成电路融创中心(复创芯)提供的交流平台和热情接待表示衷心的感谢!

     

    上海市真空学会
    2022年12月11日

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